上海電子無塵車間淨化工程設計施工要求

電子是為了滿足半導體製造工藝需求的潔淨室，對環境潔淨度、溫濕度、振動、ESD、AMC控製等都有一定的要求。相對於其他工業潔淨室，電子無塵車間有麵積大、潔淨等級高、溫濕度控製精度高等特點。

根據電子無塵車間空氣循環特點可以將潔淨室分為三種類型：循環空調機配合高效送風口係統、循環風機配合濕式密封係統和FFU循環係統。


第一種形式在小規模低等級要求的潔淨室車間設計中被廣泛應用，對於大麵積高等級的則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。


第二種形式的設計可以滿足集成電路製造無塵車間大麵積高等級的要求，但運行成本較高，並且潔淨室風速、風量調節困難，係統升級改造困難，因此操作靈活性很低。


第三種的FFU循環係統不僅節省運行空間、潔淨度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行係統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體製造的需求，因此在半導體製造業FFU循環係統逐漸成為最主要的淨化設計方案。


FFU循環係統的特點是：整個潔淨室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合後通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對於工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路製造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。


集成電路製造對電子無塵車間環境的控製有較為嚴格的要求。不同的工藝製程對潔淨度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環境下，而化學機械研磨則隻要求1000級的環境即可。


另外，集成電路製造潔淨廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規定和要求，尤其是振動的控製，在潔淨室的建築結構設計上就要有所要求。


好的電子無塵設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產提供安全可靠的保證。在3種潔淨係統中，FFU循環係統運行成本最低，潔淨度安全性最高，因此集成電路潔淨廠房多采用FFU循環係統。而潔淨度要求越高，溫濕度控製精度越高則潔淨室投資和運行成本越高，因此在大環境潔淨度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔淨度或溫濕度控製區域內是集成電路製造潔淨廠房的設計趨勢。


集成電路製造是高能耗的產業，而潔淨空調係統的能耗則占其中的30%以上，因此節能安全的潔淨室設計和各種熱能回收設計將是未來的發展方向。


隨著集成電路製造技術的不斷升級，主流大廠已經進入了納米時代，集成電路製造潔淨廠房的設計建造和節能創新也需要不斷提升，為先進製程產品生產提供保障。